禾邑實業股份有限公司

01化學蝕刻清洗設備

• RCA Clean
• 6-12寸半自動客製化清洗機
• SPM or RCA清洗機
• 高溫磷酸蝕刻清洗機
• 多軸式半自動蝕刻清洗設備
• Spin dryer 晶圓甩乾機
• 直立或水平式洗管機
• BOE蝕刻清洗機
• 毛刷式光罩清洗機
• 半自動蝕刻設備

02有機溶劑清洗設備

• 有機製程清洗機
• ICP清洗機
• 光阻去除清洗機
• 去蠟清洗機
• 去膠清洗機
• 顯影清洗機
• 浮離清洗機
• ACE清洗機
• 各式有機清洗機

03單體清洗設備

• 供酸集成系統
• 熱氮氣吹乾槽
• 廢氣洗滌塔 Wet Scrubber
• QDR清洗槽
• 耐酸鹼槽類
• 石英加熱槽
• 直立式洗管機
• 超音波清洗槽
• 石英碳素加熱器
• 各式晶舟

04供酸系統與工程

• 供酸系統設備與安裝施工
• 管路設計與安裝施工
• 系統設計與安裝測試調整