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產品介紹Products
化學蝕刻清洗設備
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直立或水平式洗管機
產品規格
- Apply：LED, IC,LCD,MEMS,GsAs
- Process：Tube Clean
- Process：HF, CH3COOH
- Wafer Size：4" ~ 12" < QZ, Carbon, boat Carrier.
- Options:CIM,FM(Anti,Fire),PC,PLC etc.
- 提供客製化服務