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有機溶劑清洗設備

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顯影清洗機
顯影清洗機

產品規格

  • Apply：LED, GsAs
  • Process：Dry in Dry out Strip Clean
  • Process Ability：0.25u < 15
  • Wafer Size：2" ~ 6"
  • Options：CIM, Semi, PCbased, PLC
  • 提供客製化服務

機台動作

其他設備